1、净化工程安装时要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意操作活动部分发尘，方便维护。

2、净化工程安装应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备，方便保养。

3、由于生产用水、气体、药品等往往是造成无尘室污染的原因，故净化工程安装时应配备过滤装置。

4、净化工程规划各设备的配置空间，设置给水管线、气体管线和电气系统时，事先设计好不易积累微尘之结构，规划则以容易清洁为原则。

5、对于净化工程中像真空泵等容易产生污染物的这类设备，最好设置在净化工程安装的外面或回风区，并加装排气管线排气。

6、净化工程安装好生产及相关设备后，应定期清扫，以避免微尘之堆积。

7、净化工程安装时注意加强室内的温湿度控制，避免因湿度控制不当造成结露生锈。

8、净化工程的设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离，防止污染其他洁净区域。

9、对于施工或维修根据净化工程安装之各项规定，负责工程师应在侧监工。

10、净化工程安装专用工具要严格管理，不得随意带出净化工程安装外使用。