先从一般评价来说洁净室FFU回风系统优点：（1）洁净室FFU回风系统灵活性大，便于改造；（2）占用建筑物空间较少；（3）洁净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。在洁净室具体情况下的评价来说，洁净室FFU回风系统系统凸显的优点是：（1）用于旧建筑物改造洁净室时，FFU回风系统综合经济性是可取的。（2）而对洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率达百分百时，对小系统比较有意义。（3）洁净度要求不严的洁净室，末级过滤器满布率小于40%时对大系统综合经济性往往相差不多。但从IC工厂来说FFU系统的灵活性是重要的，当前IC工厂对过滤器满布率小于40%时，洁净室采用FFU系统已经普遍了。

    洁净室FFU回风系统有优点也会有缺点。缺点：(1)要求回风道全部阻力(包括多孔地板、格栅及风道)、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力(在初阻力时)，总共应控制在165Pa左右，以满足运行时最大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大，回风道尺寸亦要较大，多孔地板及格栅等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回风道阻力在15Pa以内，否则就需要再增设加压风机系统，这就是降低了FFU系统的综合优点。(2)洁净室采用DC/EC电机后，单位风量的能耗可能比当前一般大型离心风机的集中系统为低，但也有说比采用改进后的大型轴流风机的回风系统的能耗还是高。在这里要注意大型轴流风机的效率提高及其系统的阻力降低的因素。(3)洁净室FFU回风系统由于单位风量的能耗较大，洁净室的冷负荷也会相应对地增加。

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