一、过滤原理
大气中存在大量的悬浮尘埃粒子，它们的存在极大地影响产品的精密化、微型化、高质量、高纯度和高可靠性。
空气中悬浮的粒状污染物质是由固体或液体微粒子所组成。大气尘可分为狭义大气尘和广义大气尘：狭义大气尘是指大气中的固态粒子，即真正的灰尘；大气尘的现代概念既包括固态微粒也包括液态微粒的多分散的气溶胶，是专指大气中的悬浮微粒，粒径小于10μm，这就是广义的大气尘。对于大于10μm的粒子，因为较重，经过一段时间的无规则的布朗运动后，在重力的作用下，它们会逐渐沉降到地面上，是通风除尘的主要目标；大气中0.1---10μm的灰尘粒子也在空气中做无规则的运动，因重量较轻，则容易随气流漂浮，而很难沉降到地面上。因此，净化工程技术中的大气尘的概念和一般除尘技术中的灰尘的概念是有所区别的。
通风除尘用的尼龙网过滤器、金属网过滤器、泡沫海绵过滤器过滤的灰尘，因为滤料的孔径较大，一般大于10μm，主要是过滤大于10μm的灰尘，因此对 0.1~~10μm的粒子，过滤效率很低；如果是对环境的净化有一定的洁净度要求，必须采取洁净技术中的空气过滤技术，才能达到净化要求。空气净化的主要任务是根据各种产品的生产工艺、不同工序、各类房间的空气洁净度级别需要，采取空气过滤技术来捕集大气中的0.1---10μm悬浮尘埃粒子和微生物，使洁净室或局部净化区域中的尘埃粒子浓度或含菌浓度控制在允许范围之内，以保证洁净度的级别要求。
空气中的悬浮粒子除微小液滴成球形外，其它粒子为结晶状、片状、块状、针状、链状等，很难从几何形状去度量其尺寸。在洁净技术中，粒径的意义是指通过微粒内部的某个长度因次，并不含有规则几何形状的意义，只是便于比较粒子大小的一种“名义尺寸”。
空气中的悬浮粒子分为非生物性粒子和生物粒子：非生物粒子是由固体、液体的破碎、蒸发、燃烧、凝聚产生的，其形成过程有物理作用或化学作用。生物粒子有微生物、植物的花粉、花絮及绒毛等；微生物一般包括病毒、立克次氏菌、细菌、菌类、原生虫及藻类，其中与净化关系较直接的是细菌和菌类。空气中的微生物主要附着在灰尘上，因此过滤掉空气中的灰尘可以有效地清除空气中的微生物，这也是生物净化的主要理论依据。
根据不同国家和时间的大气尘中微粒的统计，大气尘中微粒数量随着粒径的增加而显著减少，即在双对数坐标图上，数量和粒径呈直线关系，特别是对0.1---5μm；数量与质量的分布关系，亚微米级的微粒数量占总数的比例接近100%，而重量仅占总量的2%--3%；这也是洁净相关标准可以在不同国家通用的理论依据。
统计表示，农村中的灰尘浓度大约在10万粒/升左右，郊区中的灰尘浓度大约在20万粒/升左右，城市中的灰尘浓度大约在30万粒/升左右，污染严重的地区可达到100万粒/升以上。
1.空气过滤技术主要采用过滤分离方法：通过设置不同性能的过滤器，除去空气中的悬尘埃粒子和微生物，也即通过滤料将尘埃粒子捕集截留下来，以保证送入风量的洁净度要求。它所用的滤料为较细直径的纤维，既能使气流顺利通过，也能有效地捕集尘埃粒子。
2. 洁净技术控制过滤的灰尘一般是0.1---10μm的尘埃粒子，粒径较小，包含有固态微粒和液态微粒；大气中悬浮的有机微粒有微生物、植物的花粉、花絮与绒毛，微生物一般包括病毒、立克次氏菌、细菌、菌类、原生虫和藻类。空气净化控制的主要是细菌和菌类、病毒。因为微生物主要附着在尘埃粒子上，因此将空气中的尘埃粒子有效地控制，也就能有效地控制空气中的细菌、菌类及病毒。要做到这一点，必须通过阻隔性质的微粒过滤器，方可加以过滤。一般地，普通高效过滤器对细菌的过滤效率可达99.996%，基本上可以满足生物洁净室的过滤净化要求。。
过滤器的过滤层捕集微粒的作用主要有5种：
1.拦截效应：当某一粒径的粒子运动到纤维表面附近时，其中心线到纤维表面的距离小于微粒半径，灰尘粒子就会被滤料纤维拦截而沉积下来。
2.惯性效应：当微粒质量较大或速度较大时，由于惯性而碰撞在纤维表面而沉积下来。
3.扩散效应：小粒径的粒子布朗运动较强而容易碰撞到纤维表面上。
4.重力效应：微粒通过纤维层时，因重力沉降而沉积在纤维上。
5.静电效应：纤维或粒子都可能带电荷，产生吸引微粒的静电效应，而将粒子吸到纤维表面上。
随着捕集灰尘越来越多，则滤层的过滤效率也随着下降，而阻力增大；当到一定的阻力值或效率降到某值时，过滤器就需及时加以更换，以保证净化洁净度的要求。
过滤器的滤料最常用的形式有：无纺布、化学纤维材料、玻璃纤维材料；它们在额定风量下，阻力较小而效率较高，更换、维护方便，适用范围广，在空调净化系统中有着极高的使用价值和应用领域。
二、净化原理
为保证产品生产环境或其它用途的洁净室所要求的空气洁净度要求，必须采用多项综合技术措施：
1． 采用产生污染物少的生产工艺及设备；
2． 采取必要的隔离负压措施，防止生产工艺产生的污染物向四周扩散；
3． 减少人员及物料带入室内的污染物质；
4． 加强洁净室的管理，按规定进行清扫、灭菌等工作；
5． 人、物必须进行分流，不允许人流、物流相互交叉；
除采取上述措施外，最重要的技术措施是：
通过相应的装置，送入足够量的、经过处理的洁净空气，以替换或稀释室内在正常工作时所产生的污染物质污染的空气；同时，带走室内的污染物质。即为空气净化的基本原理。
具体而言，洁净室内的空气净化处理就是根据房间的不同的洁净度等级要求，采用不同的方式送入经过处理的数量不等的清洁空气，同时排走相应数量的携带有在室内所产生的污染物质沾污的脏空气；依靠这样的动态平衡，使室内环境维持在所需要的空气洁净度等级。
空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度，通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低，含尘浓度低则洁净度高；按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级，就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。
因原有的洁净标准是美国首先制定的，故其单位是英制，也是应用最为广泛的一种；
用英制表示时，洁净度等级名称为每立方英尺空气中≥0.5μm尘粒的最大允许粒子数;
用国际单位表示时, 洁净度等级名称为每立方米空气中≥0.5μm尘粒的最大允许粒子数的常用对数值。
三、单向流和非单向流
由于洁净技术控制的是大气中的悬浮微粒浓度，且送入生产区域或洁净室内的风量比通风除尘、一般空调房间所需的风量大得多，故其气流组织形式与它们有明显的不同：
1、洁净气流流型要考虑到减少或避免涡流，要有利于迅速有效地排除污染物；
2、要尽量限制和减少室内尘源散发的尘和菌的扩散；
3、兼顾维持室内的温、湿度及工作人员的舒适性要求。
气流流型主要分为三类：
1、向流：单一方向呈平行流线，且横断面上风速一致的气流；
有两种型式：垂直单向流和水平单向流。
2、非单向流：指不符合单向流定义的气流。
3、混合流：由单向流和非单向流组合的气流。
一般地，单向流洁净室的洁净度可达到1—100级，非单向流洁净室的洁净度在1000—100,000级，混合流洁净室的洁净度局部区域可达1—100级。
四|、静压差和换气次数
为避免洁净室内的洁净度受邻室的污染，或污染邻室，洁净度不同的洁净室之间，或洁净室与一般房间之间要保持适当的静压差，静压差不得小于5Pa。
由于送入洁净室内的洁净送风量不同，则室内的洁净度也不同，根据理论计算和实践经验，一般的经验换气次数如下，作为初步洁净室送风量的估算值：
1． 对于10万级，换气次数一般在15次/小时以上；
2． 对于1万级，换气次数一般在25次/小时以上；
3． 对于1000级，换气次数一般在50次/小时以上；
4． 100级，其送风量按送风截面风速0.2---0.45m/s计算。
空气过滤器选用、使用及维护常识

大气中的尘埃粒子浓度是影响洁净室洁净度的重要因素，而如果要有效地、可调节地控制生产洁净度，采用通常空调用的尼龙网过滤器、金属网过滤器及海棉过滤器，则无法控制生产环境中的尘埃粒子浓度和达到较高的洁净度要求。而要达到现代化生产所需的洁净环境，必须采用滤纸过滤器和纤维层过滤器，也就是净化技术中所用的空气过滤器。
一、 空气过滤器的分类
洁净室用空气过滤器种类较多，按结构形式分有：
1． 平板式过滤器
2． 折叠式过滤器
3． 袋式过滤器
4． 有隔板折叠形过滤器
5． 无隔板折叠形过滤器
按过滤效率分类，是最为常见的方法；按国家标准GB/T14295-93《空气过滤器》及GB13554-92《高效空气过滤器》的规定，在额定风量下有：
1． 粗效过滤器
2． 中效过滤器
3． 高中效过滤器
4． 亚高效过滤器
5． 高效过滤器（超高效过滤器）
二、 空气过滤器的选用与配置
1． 对于小型的净化设备，如洁净工作台、风淋室、层流罩等，由于处理的风量小，一般新风进风面采用粗效过滤器或中效过滤器，送风末端必须选用高效过滤器或超高效过滤器；
2． 对于净化空调系统中空气过滤器的选用与配置，一般根据洁净室的空气洁净度级别和生产工艺的特殊要求，进行合理化选用与配置。
A．对于1000---10万级的洁净室净化系统，通常采用三级空气过滤形式，即粗效、中效和高效过滤器；粗效、中效一般放在空气处理装置中，且将中效过滤器放在正压段，亚高效或高效过滤器一般位于净化空调系统的末端。
B．对于100---1000级的净化空调系统，通常在新风处理装置中设置粗效、中效、亚高效过滤器，在洁净室循环风系统中，还要设置高效过滤器或超高效过滤器；一般地高效过滤器位于净化空调系统的末端，即位于洁净室的顶棚上；对于超高效过滤器，则必须设在净化空调系统的末端，以确保所需的空气洁净度级别要求。
3． 当已知整个净化系统的空气处理风量时，可根据所选过滤器的额定风量，确定所需过滤器的个数。
三、 空气过滤器的使用场合及过滤范围
1． 粗效过滤器
主要用于净化空调系统的新风进口处作预过滤器，截留大气中的大粒径微粒。过滤对象是大于5μm以上的悬浮微粒和10μm以上的沉降性微粒以及各种异物，防止其进入系统。滤材一般为喷胶棉、涤纶无纺布、聚丙烯纤维。其过滤效率以过滤≥5μm粒子为准。
2． 中效空气过滤器
由于其前面已有预过滤器截留了大粒径微粒，它又可以作为一般空调系统的最后过滤器和净化空调系统中、高效过滤器的预过滤器。滤材一般为涤纶无纺布、聚丙烯纤维、玻璃纤维。
主要用于截留1—10μm悬浮微粒，效率以过滤≥1μm粒子为准。
3． 高中效过滤器
可用做一般净化程度的系统末端过滤器，也可以做为高效过滤器的中间过滤器；滤材一般为涤纶无纺布、聚丙烯纤维、玻璃纤维。
主要用于截留1---5μm粒子，效率以过滤≥1μm粒子为准。
4． 亚高效过滤器
主要作为洁净室末端过滤器，也可做为高效过滤器的预过滤器和新风系统的末级过滤，提高新风的品质。滤材一般为聚丙烯纤维、玻璃纤维。主要用于截留1μm以下的粒子，效率以过滤≥0.5μm粒子为准。
5. 高效过滤器(超高效过滤器)
主要是洁净室的末端过滤器，以保证实现各级洁净度的级别。
其效率以过滤≥0.5μm粒子为准。滤材一般为超细玻璃纤维。
四、 空气过滤器的不同效率表示方法
当被过滤气体中的含尘浓度以计重浓度表示时，则效率为计重效率；以计数浓度表示时，则效率为计效效率；以其它物理量作相对表示时，则为比色效率或浊度效率等。
最常用的表示方法是用过滤器进出口气流中的尘粒浓度表示的计数效率。
1．在额定风量下，按国家标准GB/T14295-93《空气过滤器》及GB13554-92《高效空气过滤器》的规定，不同过滤器的效率范围如下：
粗效过滤器，对≥5微米粒子，过滤效率80＞E≥20，初阻力≤50Pa
中效过滤器，对≥1微米粒子，过滤效率70＞E≥20，初阻力≤80Pa
高中效过滤器，对≥1微米粒子，过滤效率99＞E≥70，初阻力≤100Pa
亚高效过滤器，对≥0.5微米粒子，过滤效率E≥95，初阻力≤120Pa
高效过滤器，对≥0.5微米粒子，过滤效率E≥99.99，初阻力≤220Pa　
超高效过滤器,对≥0.1微米粒子，过滤效率E≥99.999，初阻力≤280Pa
2.由于现在许多企业选用的是进口的过滤器，而它们表示效率的方法与国内的不同，为便于比较，将它们之间的换算关系列表如下：
按欧洲标准，粗效过滤器分为四级（G1~~G4）：
G1 效率 对粒径≥5.0μm,过滤效率E≥20% (对应美国标准C1)
G2 效率 对粒径≥5.0μm,过滤效率50＞E≥20% (对应美国标准C2~C4)
G3 效率 对粒径≥5.0μm,过滤效率70＞E≥50% (对应美国标准L5)
G4 效率 对粒径≥5.0μm,过滤效率90＞E≥70% (对应美国标准L6)
中效过滤器分为两级(F5~~F6)：
F5 效率 对粒径≥1.0μm,过滤效率50＞E≥30% (对应美国标准M9、M10)
F6 效率 对粒径≥1.0μm,过滤效率80＞E≥50% (对应美国标准M11、M12)

高中效过滤器分为三级（F7~~F9）：
F7 效率 对粒径≥1.0μm,过滤效率99＞E≥70% (对应美国标准H13)
F8 效率 对粒径≥0.5μm,过滤效率90＞E≥75% (对应美国标准H14)
F9 效率 对粒径≥0.5μm,过滤效率99＞E≥90% (对应美国标准H15)
亚高效过滤器分为两级(H10、H11)：
H10 效率 对粒径≥0.5μm,过滤效率99＞E≥95% (对应美国标准H15)
H11 效率 对粒径≥0.5μm,过滤效率99.9＞E≥99% (对应美国标准H16)
高效过滤器分为两级(H12、H13)：
H12 效率 对粒径≥0.5μm,过滤效率E≥99.9% (对应美国标准H16)
H13 效率 对粒径≥0.5μm,过滤效率E≥99.99% (对应美国标准H17)
五、 空气过滤器的规格与额定风量
各类过滤器的一些标准尺寸、风量及初阻力如下表：

序号 名称 外形尺寸 额定风量 初阻力
1 粗效平板式过滤器 595X595X20 2500m3/h ≤50Pa
2 粗效折迭式过滤器 595X595X46 3600m3/h ≤50Pa
3 中效袋式过滤器（6袋） 595X595X500 3600m3/h ≤80Pa
4 W型亚高效过滤器 610X610X292 3200m3/h ≤160Pa
5 有隔板高效过滤器 610X610X150 1000m3/h ≤220Pa
6 无隔板高效过滤器 610X610X69 1000m3/h ≤160Pa
六、过滤器的维护与保养
在运输、安装及使用过程中，要按照要求进行，以保证使用效果。各种过滤器在使用一段时间后，因滤料表面捕集了灰尘，从而使过滤器的效率和阻力下降，影响了送风的洁净度，此时需要及时加以更换过滤器。
1．各类过滤器在安装前，不允许打开包装袋或包装膜；并按包装箱上标注的方向存放过滤器；在搬运过程中，应轻拿、轻放，避免剧烈的振动和碰撞。
2．对于高效过滤器，安装方向必须正确：用波纹板组合过滤器在竖向安装时，波纹板必须垂直于地面；过滤器在竖向与框架之间的连接，严禁渗漏、变形、破损和漏胶等，安装后必须保证内壁清洁，无浮尘、油污、锈蚀及杂物等。。
3．检验方法：观察或白绸布擦拭检查。
4．高效过滤器安装前，必须对洁净室进行全面清扫、擦净，净化空调系统内部如有积尘，应再次清扫、擦净，达到清洁要求。如在技术夹层或吊顶内安装高效过滤器，则技术层或吊顶内也应进行全面清扫、擦净。
5. 高效过滤器的运输和存放应按照生产厂标志的方向搁置。在运输过程中，应轻拿轻放，防止剧烈振动和碰撞，不允许野蛮装卸。
6. 高效过滤器安装前，必须在安装现场拆开包装进行外观检查，内容包括：滤纸、密封胶和框架有无损坏；边长、对角线和厚度尺寸是否符合要求；框架有无毛刺和锈斑（金属框）；有无产品合格证，技术性能是否符合设计要求。然后按照国家标准《洁净室施工及验收规范》〔JGJ71-90〕的规定的方法进行检查，合格的应立即安装。
7. 洁净度级别等于和高于100级洁净室用的高效过滤器，安装前应按《洁净室施工及验收规范》〔JGJ71-90〕的规定的方法检漏，并符合规定的要求。
8．安装高效过滤器时，外框上箭头应和气流方向一致；当其垂直安装时，滤纸折痕方向应垂直于地面。
9. 安装粗效平板式或折叠式过滤器，应使镀锌网面在出风背面方向。
安装袋式过滤器，则应使滤袋长度方向垂直于地面，不可使滤袋方向平行于地面安装；
10．在正常使用条件下，平板、折叠式粗效或中效过滤器，一般1—2月更换一次，将滤料更换下来后可以用含有清洁剂的清水浸泡、冲洗，然后凉干再换上；一般冲洗1-2次后，必须更换新的过滤器，以保证过滤效率。
11．对于袋式粗效或中效过滤器，在正常使用条件下（平均每天8小时，连续运转），一般使用7—9周即应更换新的。
12．对于亚高效过滤器，在正常使用条件下（平均每天8小时，连续运转），一般使用5--6个月，也应加以更换。
13．对于以上的过滤器，如果过滤器前后有压差表或压差传感器，则对粗效过滤器，当压差值大于250Pa时，必须加以更换；对中效过滤器，则压差大于330Pa时，必须加以更换；对于亚高效过滤器，则当压差值大于400Pa时，必须加以更换，且原过滤器不可再利用；
14．对于高效过滤器，当过滤器的阻力值大于450Pa时；或当出风面气流速度降到最低限度 ，即使更换粗效、中效过滤器后，气流速度仍不能增大；或当高效过滤器表面出现无法修补的渗漏情况，均须更换新的高效过滤器；如没有上述条件，一般可根据使用环境条件情况，1—2年更换一次。
15．为了充分发挥过滤器的作用，在选用和使用过程中，过滤器的迎面风速，粗效、中效过滤器不应大于2.5m/s，亚高效过滤器和高效过滤器不应大于1.5m/s,这样不仅有利于保证过滤器的效率,也能延长过滤器使用寿命,节约成本.
16.在设备运行时,一般不要更换过滤器;如因过滤器已到更换期限而无法停机更换,则只允许在不停风机情况更换粗、中效过滤器；亚高效过滤器和高效过滤器必须停止送风后方可更换。
17．过滤器与连接框架之间的密封垫，必须严密、无泄露，以保证过滤效果。
18．对于需用于高湿度、高温度环境中的高效过滤器，必须选取耐高温、耐高湿度的滤纸与分隔板、框体材料，以满足生产的要求。
19．生物洁净室和医药洁净室，必须选用金属框体的过滤器，且其表面要不易生锈，不允许使用木框板的过滤器，以防产生细菌，影响产品的合格。

洁净室日常维护保养及运行管理

为保持洁净室内空气洁净度，必须严格执行相关维护规定，以防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖，保证设备及人员的安全。
一、 进出洁净室的管理
⒈进入洁净室的人员应严格要求执行人身净化制度、路线和程序。如下图所示：
上班

下班

退出洁净室时，必须按如上顺序、路线进行，不允许将洁净用品带出门厅。
⒉若有吹淋室，必须按规定进行吹淋后,方可进入洁净室内。同时，严格按照风淋室的规格和使用要求，控制每次进入风淋室风淋的人数，不允许正在风淋室强行关闭运行风机或电源。一般经过风淋，人身表面散发的灰尘粒子数减少40—60% 。
⒊为不干扰室内的洁净气流型式，在作业区上流侧不应放置物品，回风口附近不要堆放物；送风孔板下不应堵塞和堆放物品，生产操作应在洁净工作台或气流的上游进行。
⒋不允许将与生产无关的和容易产尘的物品带入洁净室内。
⒌严禁在洁净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动。
⒍进入洁净室前，个人物品须放入指定的柜子，去掉化妆和首饰，换上指定的洁净服、鞋。
⒎戴帽时，应将头发全部遮住，鞋套应将裤脚下摆紧紧裹在鞋套。
⒏脱洁净工作服时，要避免工作服触及地面、桌子与其它物品，一般要由下至上脱去工作服，并存放在柜内或挂在规定的处所。
⒐退出洁净室时，在更衣区前不允许脱掉洁净工作服；脱去工作服后若再进入洁净室内，仍需按进入洁净室的规定顺序进行。
⒑退出洁净室时，可以不需要经过空气吹淋而进入更换区域。

二、 洁净室内的作业人员管理
⒈手是交叉污染的媒介，作业人员进入洁净室内均需洗手，不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等；对药品生产作业人员还需进行消毒处理。
⒉不允许下列人员进入洁净室：感冒、咳嗽、湿疹等疾病患者；未按规定洗去化妆品、指甲油和未穿洁净工作服者；作业人员宜经常洗头、换衣、剪指甲。
⒊作业人员在洁净室内工作时，动作要轻，严格执行操作程序，不作易发尘的大幅度动作，不要拖足行走，不做不必要的动作；不允许穿洁净工作服上厕所。
⒋在洁净室内，要按要求戴手套，不要露出手腕，手套要经常更换。
⒌对进入洁净室人员要进行相关的培训教育：掌握所在洁净室特点、构造、洁净技术一般知识，人员净化程序及物料净化路线要求，洁净工作服的使用、清洗要求，洁净室的清扫、清洗和消毒，洁净室的安全设施及安全管理规定。
⒍ 洁净工作服应选产尘量少，又能抗静电的衣料制作，一般1～10万级洁净室内用分装型，100～1000级的用连体型。洁净鞋套最好使用一次性的，洁净鞋要求是可洗涤式的。一般地，穿洁净服的人在行走时，表面散发粒子数比穿普通衣服的人减小40—60倍，故此点对高洁净度厂房的维护管理十分重要。
⒎洁净工作服要有专人管理，定期检查，清洗。一般每周清洗一次，通常清洗50～100次后应检查确定是否报废。
8.洁净室内的“5S”运作需确保随时性和持续性，并由现场管理人员执行区域化定位管理。
三、 洁净室的清扫、灭菌。
1.洁净室的清扫一般须在生产工艺结束后进行；如有必要在生产前清扫，则工艺生产必须在净化空调系统开机运行时间达到洁净要求后方可开始进行。 为防止交叉污染，清扫洁净厂房设施均应按产品特点、工序要求、洁净度等级不同分别专用。
清扫工具一般采用集中固定式和便携移动式真空清扫设备。如不具备上述条件，也可采用不掉纤维的材料如丝光毛巾、尼龙布进行擦拭，一般每天1次或数次。
工作台及工器具清扫一般每天一次；10～1000级厂房墙壁、地面清扫，一般每周一次，1万～10万级每月一次。净化空调系统每年宜清洗1～2次，并委托专门清扫人员进行。
2.洁净室灭菌
对生物洁净室，除对送入洁净室的空气中的生物或非生物微粒数要受到控制，还要对室内器具、地面、墙面、壁板等表面进行消毒处理。空气洁净技术不能杀灭细菌，生物洁净室运行管理中必须采取消毒、灭菌措施，减少微生物在洁净室中的生存、繁衍。
目前，传统灭菌方法为：紫外线灭菌、药剂灭菌、加热灭菌和臭氧灭菌法。它们安全可靠性都很好，应用最为广泛。
另外，整个被消毒灭菌的洁净室应通过送回风管形成循环状态，每天开机做空气灭菌1—1.5小时;若需对洁净室墙体、地面和设备等表面进行消毒灭菌则需2小时左右。
四、 设备管理
1.工艺设备的防污染管理
生产工艺设备在生产过程中,或操作失误都会造成室内发尘量的增加；针对这些污染源产生的情况,需要制定相应的管理措施和必要的对策,因此严格执行工艺和设备的管理制度十分必要.
2.空调系统装置是确保室内空气洁净度等级的主要设备,包括各类过滤器、洁净工作台、层流罩、风淋室、传递窗、空调装置等，它们的正常维护、定期检查是确保洁净室洁净度的重要条件。具体要求如下表所示：